Optoelectronics

光电科技

上海德硅凯氟光电科技有限公司 ，致力于成为国际一流的氟化物光学晶体及元器件供应商 。公司建设国内首条8英寸 - 12英寸紫外级氟化钙晶体生产线 ，实现国产光刻机关键材料的产业化 ，逐步形成“光学晶体生长 - 光学设计 - 光学加工 - 光学器件”的一站式服务能力 。

项目背景

大尺寸 、紫外级CaF2单晶是193nm DUV光刻机照明系统 、投影物镜系统 、紫外光源等部分的核心元器件材料 ，是光刻机国产化"卡脖子”的关键材料 。目前 ，紫外光刻级CaF2 晶体全部依赖进口 。
研发团队超60%人员具有硕士以上学历 。
项目曾获02专项支持 ，并计划列入国家"十四五”规划 。